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磁控溅射是一种广泛应用于工业表面处理的高效技术。它利用高能离子轰击金属靶材,将靶材表面的原子或分子溅射到基板表面形成薄膜。以下是磁控溅射技术的七个方面。 1. 原理 磁控溅射利用磁场将离子束聚焦在靶材上,使得靶材表面的原子或分子被剥离并溅射到基板表面。靶材和基板之间设置反向电场,使得溅射的金属离子能够快速沉积在基板表面形成薄膜。磁控溅射可以制备多种材料的薄膜,如金属、合金、氧化物等。 2. 优点 与其他表面处理技术相比,磁控溅射具有很多优点。它可以制备高质量、高致密的薄膜,具有良好的机械、化学
磁控溅射镀膜技术的发展及应用 1. 磁控溅射镀膜技术的概述 磁控溅射镀膜技术是一种利用高能粒子轰击靶材表面,使靶材表面原子或分子释放出来并沉积在基材表面形成镀层的技术。其主要原理是利用磁控场将靶材表面的金属原子或分子加速,使其撞击到基材表面,从而形成一层均匀、致密、附着力强的薄膜。该技术具有高效、高质量、高可靠性等特点,被广泛应用于电子、光学、磁性材料等领域。 2. 磁控溅射镀膜技术的发展历程 磁控溅射镀膜技术的发展历程可以追溯到20世纪60年代初期。当时,美国一家公司首次利用磁控场将靶材表面

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